Sản lượng EUV của ASML đã tăng từ 22 chiếc vào năm 2019 lên 42 chiếc vào năm 2021
Dec 09, 2022| Theo The Elec, ASML gần đây đã công bố tại Hội nghị toàn cầu về hệ sinh thái EUV bán dẫn năm 2022 rằng số lượng thiết bị EUV do ASML sản xuất đã tăng từ 22 vào năm 2019 lên 42 vào năm 2021 và dự kiến sẽ vượt quá 50 trong năm nay. Sản lượng sẽ tăng hơn nữa vào năm tới. Phiên bản đầu tiên của thiết bị EUV High-NA sẽ ra mắt vào cuối năm sau và phiên bản sản xuất sẽ ra mắt vào cuối năm 2024 hoặc đầu năm 2025.
Trong thông báo thu nhập quý 3 vào ngày 19 tháng 10, ASML cho biết: "Trong hoạt động kinh doanh EUV High-NA, ASML đã nhận được đơn đặt hàng bổ sung cho TWINSCAN EXE:5200; Tất cả khách hàng EUV hiện đã gửi Đơn hàng có NA cao." Thiết bị EUV High-NA là thiết bị giúp tăng khẩu độ số (NA) của ống kính với khả năng thu ánh sáng từ 0,33 lên 0,55. Xử lý các mạch bán dẫn tinh tế hơn các thiết bị EUV hiện có. Hầu hết trong ngành đều đồng ý rằng thiết bị NA cao là cần thiết cho quy trình 2nm.
